ペレツトのピツクアツプ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井暁夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-178160
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029439
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】エキスパンションシートの表面に貼着した半導体チップ等のペレットを、ピックアップコレットに向けて突き出すための機構を簡単にする。【構成】エキスパンションシート5の裏面側に、針状体13を内蔵した固定式の真空吸着体12を配設する。真空吸着体12に、エキスパンションシート5に吸着するようにした吸着部12dを、真空吸着体12内への負圧の伝達にて吸着部12dが後退し、負圧の伝達遮断にて元の位置に復帰するように設け、この吸着部12d内に針状体13の先端を突出させる。

請求項（抜粋）：

表面にペレットを貼着したエキスパンションシートの表面側に、前記ペレットに対するピックアップコレットを配設する一方、前記エキスパンションシートの裏面側に、前記ピックアップコレットに向けて延びる針状体を内蔵した真空吸着体を配設し、該真空吸着体に、当該真空吸着体内への負圧の伝達にて前記エキスパンションシートに吸着するようにした吸着部を、当該吸着部が前記真空吸着体内への負圧の伝達にて前記針状体の軸線に沿って後退し負圧の遮断にて元の位置に復帰するように設けたことを特徴とするペレットのピックアップ装置。

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