特許
J-GLOBAL ID:200903026753814650
部品把持具
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 章夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-193753
公開番号(公開出願番号):特開平8-039441
出願日: 1994年07月26日
公開日(公表日): 1996年02月13日
要約:
【要約】【目的】 半導体装置等の部品を把持した際の静電気放電等を確実に防止することを可能にしたピンセット等の部品把持具を提供する。【構成】 金属等の導電性部材で形成されたピンセット1の少なくとも半導体装置等の部品を把持する把持部3を、5×107 〜1×109 Ω・cmの体積固有抵抗を有する半導電性の材料で構成する。この半導電性材料の体積固有抵抗により、部品を把持した際の静電気放電が防止され、除電速度が高速化され、絶縁性が確保されて静電気放電による部品の静電破壊が有効に防止される。
請求項(抜粋):
半導体装置等の部品を把持するための把持具において、少なくとも前記部品を把持する部分が、5×107 〜1×109 Ω・cmの体積固有抵抗を有する半導電性の材料で構成されたことを特徴とする部品把持具。
前のページに戻る