特許
J-GLOBAL ID：200903026754439291
基板温度のモニタ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281249
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134069
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【構成】 隔離された雰囲気内に設置された基板2をランプ光により光透過窓3を通して加熱し、加熱された基板からの熱放射光を導光体6で集光して外部のファイバーケーブル12の一端に伝達させ、ケーブルの他端に伝送された光をフィルタ14により波長を選択し、検知素子15にて検知して温度を計測する基板の温度測定方法において、隔離された雰囲気内に導入される光の波長が、検知する光の波長を含まないようにする。【効果】 放射温度計で検知しようとする波長領域の光を、測定系内に入れないことにより検知エネルギ強度のS/N比を上げることができ、正確な低温度測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
隔離された雰囲気内に設置された基板をランプ光により光透過窓を通して加熱し、加熱された基板からの熱放射光を導光体で集光して外部のファイバーケーブルの一端に伝達させ、該ファイバーケーブルの他端に伝送された光をフィルタにより波長を選択し、検知素子にて検知して温度を計測する基板の温度測定方法において、前記隔離された雰囲気内に導入される光の波長が、前記検知素子で検知する光の波長を含まないことを特徴とする基板温度のモニタ方法。
IPC (3件)：
G01J 5/10
, H01L 21/205
, H01L 21/66
