特許
J-GLOBAL ID：200903026778065279
圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-247534
公開番号（公開出願番号）：特開平7-079022
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 圧力が作用して内部ひずみが生じると、電圧信号を発生する圧電素子で、周囲温度が変化しても温度依存性の少ない電圧信号を出力する圧電素子を提供する。【構成】 温度上昇に伴って静電容量が増加する圧電層14と、圧電層14の上,下面に積層された温度上昇に伴って静電容量が減少する誘電層15,15とから素子本体12を成型する。そして、素子本体12の上,下面に一対の電極13,13を設けて圧電素子11を一体に形成する。これにより、温度変化によって圧電層14の静電容量が変化しても、各誘電層15の静電容量が逆の特性をもって変化するため、圧電層14の静電容量の変化分を各誘電層15の静電容量の変化分で相殺できる。そして、温度依存性の少ない電圧信号を出力でき、激しい温度変化でも正確な圧力検出を可能とする。
請求項（抜粋）：
圧力に応じた電荷を発生する素子本体と、該素子本体の両端に設けられ、前記電荷を導出する一対の電極とからなる圧電素子において、前記素子本体は圧電層と誘電層とを少なくとも2層以上交互に積層させて一体に形成し、該誘電層の静電容量が圧電層の静電容量よりも大で、かつ誘電層の温度係数が圧電層の温度係数と逆の特性をもった材料から構成したことを特徴とする圧電素子。
IPC (3件)：
H01L 41/08
, G01L 1/16
, H01L 29/84
