特許
J-GLOBAL ID：200903026778110819
過酸化水素の精製法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-105585
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041307
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【目的】イオン交換樹脂等による精製では完全な除去が難しい、鉄、アルミニウム等の不純物を低レベルにまで除去する方法の提供。【構成】過酸化水素をアニオン交換樹脂またはアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合物に接触させて総リン酸根含有量を0.1ppm以下とした後、キレート樹脂を充填した塔に通液する。
請求項（抜粋）：
過酸化水素水溶液をキレート樹脂と接触させることを特徴とする過酸化水素水溶液の精製法。
IPC (2件)：
C01B 15/013
, H01L 21/304 341
