特許
J-GLOBAL ID：200903026780615090
分光測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334065
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145606
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 短い測定時間で良好な分解能を得る。【解決手段】 二次元分光の測定時、測光ユニット10はパルスモータ6によってX軸方向に連続的に移動される。CCDイメージセンサ17における電荷蓄積時間中、測光ユニットと試料2との相対位置が保たれるように、ピエゾアクチュエータ3に支持される試料台1は測光ユニット10と同一方向に同一速度で微小移動される。そして、1フレーム分の電荷蓄積が終了し信号転送が行なわれる僅かの時間内に、試料台1は逆方向に移動し元の状態に復帰する。このため、分解能を劣化させることなく、測定時間を間欠移動時に比較して大幅に短縮することができる。
請求項（抜粋）：
試料上の二次元領域を分光測定するための分光測定装置において、a)試料の一次元領域に光を照射するための光源手段と、b)複数の微小受光素子が二次元的に配置され、該受光素子が受光エネルギーに応じた電荷を蓄積することにより受光信号を得る光検出手段と、c)該光検出手段の一つの次元方向に前記試料の一次元領域像を投影させると共に他の次元方向に光を分散させるための分光手段と、d)前記光源手段、前記光検出手段及び前記分光手段から成る測光部と試料とを前記試料の一次元領域に直交する方向に相対的に移動するために、該測光部又は該試料を載置する試料台のいずれか一方を連続的に移動させる移動手段と、e)前記測光部又は前記試料台のいずれか一方を、前記試料の一次元領域に直交する方向に微小に変位させる変位手段と、f)前記移動手段により前記測光部と前記試料台とが相対的に移動されるとき、前記光検出手段における電荷蓄積の間、該測光部と該試料台との相対的な位置関係がほぼ一定であるように、該移動手段による移動方向と同一方向に該測光部又は該試料台を微小移動させるべく前記変位手段を駆動する駆動手段と、を備えることを特徴とする分光測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/27
, G01J 3/06
, G01J 3/42
G01N 21/27 B
, G01J 3/06
, G01J 3/42 Z
