特許

J-GLOBAL ID：200903026782994110

位置検出方法

発明者： 小林 正基 ,  平島 浩文
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-339478
公開番号（公開出願番号）：特開2003-141550
出願日： 2001年11月05日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【目的】 低コントラストな画像や背景の照度ムラの画像においても安定した位置検出を短時間で行うことができる位置検出方法を提供すること。【構成】 被検物上の位置合わせ用のマークを上方から照明する明視野照明手段と、被検物からの反射光を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって撮像された映像信号を画像処理する画像処理手段とを有し、画像処理手段では、撮像画像を画像処理した後、予め登録してある基準パターンとの比較を行うことによってマーク位置を検出する手段を有するパターンマツチング方式の位置検出方法において、前記画像処理手段においてコントラスト強調手段とエッジ強調手段とを設け、前記撮像画像をコントラスト強調処理後にエッジ強調処理を行い、抽出されたエッジ画像と基準パターンをパターンマッチングしてマーク位置を検出する。

請求項（抜粋）：

被検物上の位置合わせ用のマークを上方から照明する明視野照明手段と、被検物からの反射光を撮像する撮像手段と、該撮像手段によって撮像された映像信号を画像処理する画像処理手段とを有し、該画像処理手段では、撮像画像を画像処理した後、予め登録してある基準パターンとの比較を行うことによってマーク位置を検出する手段を有するパターンマツチング方式の位置検出方法において、前記画像処理手段においてコントラスト強調手段とエッジ強調手段とを設け、前記撮像画像をコントラスト強調処理後にエッジ強調処理を行い、抽出されたエッジ画像と基準パターンをパターンマッチングしてマーク位置を検出することを特徴とする位置検出方法。

IPC (4件)：

G06T 7/60 150 ,  G01B 11/00 ,  G06T 1/00 280 ,  G06T 7/00 300

FI (4件)：

G06T 7/60 150 B ,  G01B 11/00 H ,  G06T 1/00 280 ,  G06T 7/00 300 D

Fターム (20件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA12 ,  2F065BB27 ,  2F065FF04 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ43 ,  5B057AA20 ,  5B057CE03 ,  5B057CH01 ,  5B057CH07 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33 ,  5L096FA22 ,  5L096FA69 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 位置検出装置及びそれを用いた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-005350   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭63-054680