特許
J-GLOBAL ID：200903026784080263
2波長反射防止膜
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332203
公開番号（公開出願番号）：特開平11-167003
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】設計、製造における大幅な省力化と製造効率の向上を実現可能な2波長反射防止膜を提供する。【解決手段】基板上に順次積層する多層膜であって、中心波長λ<SB>1</SB>、λ<SB>2</SB>(λ<SB>1</SB><λ<SB>2</SB>)の2波長についての反射防止膜において、基板上に光学的膜厚がk<SB>1</SB>λ<SB>1</SB>/4の中間屈折率層、光学的膜厚がk<SB>2</SB>λ<SB>1</SB>/2の高屈折率層、光学的膜厚がk<SB>3</SB>λ<SB>1</SB>/4の低屈折率層を順次積層してなる2波長反射防止膜。ただし、k<SB>1</SB>、k<SB>2</SB>、k<SB>3</SB>は正の整数
請求項（抜粋）：
基板上に順次積層する多層膜であって、中心波長λ<SB>1</SB>、λ<SB>2</SB>(λ<SB>1</SB><λ<SB>2</SB>)の2波長についての反射防止膜において、基板上に光学的膜厚がk<SB>1</SB>λ<SB>1</SB>/4の中間屈折率層、光学的膜厚がk<SB>2</SB>λ<SB>1</SB>/2の高屈折率層、光学的膜厚がk<SB>3</SB>λ<SB>1</SB>/4の低屈折率層を順次積層してなる2波長反射防止膜。ただし、k<SB>1</SB>、k<SB>2</SB>、k<SB>3</SB>は正の整数
IPC (3件)：
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00 A
