特許

J-GLOBAL ID：200903026787705710

気体圧アクチュエータの制御方法及び制御装置

発明者： 牧野 史紀 ,  榊 和敏
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-154151
公開番号（公開出願番号）：特開2001-336504
出願日： 2000年05月25日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】 静圧軸受により浮上したスライダを、複動形の2台のサーボ弁を用いて差圧により駆動する気体圧アクチュエータにおいて、スライダを高精度で位置制御できるような制御装置を提供する。【解決手段】 スライダ13の位置を検出する位置センサ15からの位置検出信号に対してサンプリングを行って演算を行い、サーボ弁22A、22Bに指令値を出力する演算装置20を含む。演算装置は、1サンプリング周期前の指令値と1サンプリング周期前のスライダ位置とを用いて現在のスライダの推定位置、推定速度、推定加速度を算出するステップと、スライダ目標位置、算出されたスライダの推定位置、算出された推定速度、算出された推定加速度より2つのサーボ弁に対する指令値を算出するステップと、1サンプリング周期前の指令値、1サンプリング周期前の算出された推定速度、1サンプリング周期前の算出された推定加速度、算出された現在の推定加速度からサーボ弁中立点の機差に対する補正値を算出するステップと、前記指令値を前記補正値で補正して2つのサーボ弁に与えるステップとを実行する。

請求項（抜粋）：

固定部とこれに対して静圧軸受を介してスライド可能に設けられたスライダとを含み、該スライダを可動とするための2つの圧力室を形成し、これら2つの圧力室に供給される圧縮気体の流量をそれぞれサーボ弁により制御することにより、前記2つの圧力室の差圧で前記スライダを非接触で駆動するように構成された気体圧アクチュエータの制御方法において、前記スライダの位置を検出するための位置検出器からの位置検出信号に対してサンプリングを行ってあらかじめ定められた演算を行い、前記2つのサーボ弁に指令値を出力する演算装置を備え、該演算装置は、1サンプリング周期前の指令値と1サンプリング周期前のスライダ位置とを用いて現在のスライダの推定位置、推定速度、推定加速度を算出する第1のステップと、スライダ目標位置、算出されたスライダの推定位置、算出された推定速度、算出された推定加速度より前記2つのサーボ弁に対する指令値を算出する第2のステップと、1サンプリング周期前の指令値、1サンプリング周期前の算出された推定速度、1サンプリング周期前の算出された推定加速度、算出された現在の推定加速度から定常位置偏差に対する補正値を算出する第3のステップと、前記第2のステップで算出された指令値を前記第3のステップで算出された補正値で補正して前記2つのサーボ弁に与える第4のステップとを実行することを特徴とする気体圧アクチュエータの制御方法。

IPC (4件)：

F15B 9/09 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 ,  G05D 3/12 304

FI (4件)：

F15B 9/09 F ,  G05D 3/00 D ,  G05D 3/12 T ,  G05D 3/12 304

Fターム (24件)：

3H001AA01 ,  3H001AB06 ,  3H001AB10 ,  3H001AC03 ,  3H001AD04 ,  3H001AE12 ,  3H001AE14 ,  3H001AE24 ,  5H303AA06 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303CC02 ,  5H303DD09 ,  5H303EE01 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF03 ,  5H303GG12 ,  5H303HH02 ,  5H303JJ01 ,  5H303JJ04 ,  5H303KK11 ,  5H303KK24