電子ビーム露光装置

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-342229
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142392
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】実用的な近接露光方式の電子ビーム露光装置の実現。【解決手段】ステージ49と、近接露光方式の電子光学コラム2と、真空チャンバ1とを備える電子ビーム露光装置であって、ステージ49はウエハ100を保持する部分に基準載置面54A-54Dを備え、電子ビーム露光装置は、基準載置面及び載置されたウエハの基準載置面の部分の高さを検出する高さ検出器92を備える。

請求項（抜粋）：

ウエハを保持して移動するステージと、露光するパターンと同一の開口を有するマスクを備え、前記マスクに前記ステージに保持された前記ウエハを近接して配置した状態で前記マスクに電子ビームを照射してパターンを露光する近接露光方式の電子光学コラムと、前記ステージ及び前記電子光学コラムを収容する真空チャンバとを備える電子ビーム露光装置であって、前記ステージは、前記ウエハを保持する部分に基準載置面を備え、当該電子ビーム露光装置は、前記基準載置面及び載置された前記ウエハの前記基準載置面の部分の高さを検出する高さ検出器を備えることを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , H01J 37/20 , H01J 37/305 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (7件)：

G03F 7/20 504 , H01J 37/20 A , H01J 37/305 B , B65G 49/07 E , H01L 21/68 A , H01L 21/68 R , H01L 21/30 541 S

Fターム (45件)：

2H097AA03 , 2H097CA16 , 2H097LA10 , 5C001AA01 , 5C001AA03 , 5C001BB07 , 5C001CC06 , 5C034BB06 , 5C034BB07 , 5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031DA01 , 5F031DA12 , 5F031FA01 , 5F031FA04 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA14 , 5F031GA10 , 5F031GA13 , 5F031GA15 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031HA01 , 5F031HA13 , 5F031HA16 , 5F031HA24 , 5F031HA32 , 5F031HA33 , 5F031HA35 , 5F031JA01 , 5F031JA02 , 5F031JA21 , 5F031JA30 , 5F031JA32 , 5F031JA45 , 5F031MA27 , 5F031NA02 , 5F031NA05 , 5F031NA09 , 5F031PA30 , 5F056AA22 , 5F056AA25 , 5F056FA04

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