特許
J-GLOBAL ID：200903026799015328
真空ポンプ異常監視システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083075
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283056
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：
【要約】【課題】半導体製造装置稼動中にプロセスガスによる反応副生成物のポンプ内への付着による突発的な稼動停止の予防を目的とする。【解決手段】半導体製造装置の反応ガスを処理する装置に用いられる真空ポンプの複数の物理量を検出する物理量検出手段と、当該検出された物理量を収集する信号変換器と、当該信号変換器により収集された物理状態のデータを格納する監視装置とを備える真空ポンプ異常監視システムにおいて、前記半導体製造装置及び前記真空ポンプの稼動状態を検出する状態検出手段と、前記検出手段によって得られる検出値の内、前記半導体製造装置の任意の稼動状態における検出値をサンプリングする抽出手段と、当該サンプリングした複数の物理量を時系列的なグラフで表示する表示手段とを備える。【効果】精度の高い異常予知を行うことができ、反応副生成物付着による異常停止予防が可能となり、ポンプ停止による製品損失を大幅に低減できる。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置の反応ガスを処理する装置に用いられる真空ポンプの複数の物理量を検出する物理量検出手段と、当該検出された物理量を収集する信号変換器と、当該信号変換器により収集された物理状態のデータを格納する監視装置とを備える真空ポンプ異常監視システムにおいて、前記半導体製造装置及び前記真空ポンプの稼動状態を検出する状態検出手段と、前記検出手段によって得られる検出値の内、前記半導体製造装置の任意の稼動状態における検出値をサンプリングする抽出手段と、当該サンプリングした複数の物理量を時系列的なグラフで表示する表示手段とを備えたことを特徴とする真空ポンプ異常監視システム。
Fターム (19件)：
3H045AA02
, 3H045AA09
, 3H045AA15
, 3H045AA26
, 3H045AA38
, 3H045BA33
, 3H045BA41
, 3H045CA03
, 3H045CA19
, 3H045CA21
, 3H045CA22
, 3H045CA23
, 3H045CA29
, 3H045DA47
, 3H045EA23
, 3H045EA35
, 3H045EA38
, 3H045EA49
, 3H045EA50
