特許

J-GLOBAL ID：200903026799886205

検査装置、検査治具および検査方法

発明者： 小林 聖治
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-111428
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292090
出願日： 2004年04月05日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】静電容量型のセンサの電気特性を検査する際において、検査精度と検査効率とを向上する。【解決手段】センサ101の表面に導電体を接触させてセンサ101の電気特性を検査する検査装置であって、導電体として揮発性液体をセンサ101の表面に噴霧する液体膜形成部31を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

静電容量型センサの表面に導電体を接触させて前記静電容量型センサの電気特性を検査する検査装置であって、 前記静電容量型センサの表面に導電性の揮発性液体による液体膜を前記導電体として形成する液体膜形成部 を有する 検査装置。

IPC (3件)：

G01R27/26 ,  A61B5/117 ,  G01R31/26

FI (3件)：

G01R27/26 C ,  G01R31/26 J ,  A61B5/10 322

Fターム (29件)：

2F063AA43 ,  2F063BA29 ,  2F063BB01 ,  2F063BB02 ,  2F063BB08 ,  2F063BD11 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DD06 ,  2F063HA01 ,  2F063HA04 ,  2F063HA19 ,  2F063KA01 ,  2G003AA00 ,  2G003AD04 ,  2G003AG00 ,  2G003AG01 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  2G028AA01 ,  2G028AA02 ,  2G028AA04 ,  2G028CG07 ,  2G028HN05 ,  2G028HN14 ,  2G028MS02 ,  4C038FF01 ,  4C038FF05 ,  4C038FG00

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ICソケット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-211338   出願人：山一電機株式会社