特許
J-GLOBAL ID：200903026800993223
複合超微粒子の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-246062
公開番号（公開出願番号）：特開平7-076769
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】 超微粒子の表面を金属やセラミックスなど種々の材料でコーティングした複合超微粒子を、比較的簡単な構成で効率的に製造することができる方法及び装置を提供し、種々の有用な特性を備えた新規素材の製造・開発を可能とする。【構成】 ガス導入口10を有し、室内に超微粒子蒸発源2が配されるハース1aを設けてなる超微粒子発生室Aと、排気口11を有し、超微粒子発生室とノズル4を介して連通された差動排気室Bと、排気口12を有し、室内に蒸着粒子蒸発源8が配されるハース1cと基板7を設けてなり、連通孔5を介して差動排気室と連通する超微粒子蒸着室Cとからなり、ノズルの先端4bは差動排気室内に連通孔に面して配設される。超微粒子発生室で発生した超微粒子3はノズルを介して連通孔を通って超微粒子蒸着室に入り、そこで発生した蒸着粒子9によりコーティングされて基板上に堆積される。
請求項（抜粋）：
超微粒子発生室内でガス雰囲気中で超微粒子蒸発源を加熱溶融して超微粒子を発生させ、発生した超微粒子を超微粒子発生室と超微粒子蒸着室との間の圧力差を利用して超微粒子蒸着室に導き、該超微粒子蒸着室内で蒸着粒子蒸発源を加熱して蒸着粒子を蒸発させ、これを導入された前記超微粒子にコーティングさせることを特徴とする複合超微粒子の製造方法。
IPC (2件)：
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