特許
J-GLOBAL ID：200903026804872501
高さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073573
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266515
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】本発明は、簡単な構成で、ノイズの影響のない安定した高さ測定信号を得、バンプ等と試料表面との双方から最適な反射光量を得て正確な高さ測定を行う。【解決手段】試料6面上にレーザー光を走査したときの試料6面上からの反射光のPSD9での結像位置からの反射光量に応じた信号A、Bの大きさに応じて高さ測定信号(A-B)/(A+B)又は所定電圧レベルの信号V1のいずれか一方を選択手段20により選択し、この選択された出力信号から制御/測定部29によりレーザー光の走査に同期して取り込んでバンプ5の高さ測定を行い、これと共に選択手段20の出力信号の大きさに応じてレーザー制御手段21によりレーザー光源1から出力されるレーザー光のパワーを制御する。
請求項（抜粋）：
凸状部を有する試料面上にレーザー光で走査し前記試料からの反射光を受光し、この反射光の結像位置に応じた信号から高さ測定信号を求めて前記試料面の高さ測定を行う高さ測定装置において、前記結像位置からの反射光量に応じた信号の大きさに応じて前記高さ測定信号又は所定レベルの信号のいずれか一方を選択する選択手段と、この選択手段の出力信号から前記レーザー光の走査に同期して取り込んで前記試料面の高さ測定を行う測定手段と、を具備したことを特徴とする高さ測定装置。
Fターム (19件)：
2F065AA24
, 2F065CC25
, 2F065DD04
, 2F065FF01
, 2F065FF44
, 2F065GG06
, 2F065HH12
, 2F065JJ08
, 2F065JJ16
, 2F065LL61
, 2F065MM03
, 2F065MM16
, 2F065NN02
, 2F065PP12
, 2F065QQ04
, 2F065QQ06
, 2F065QQ25
, 2F065QQ26
, 2F065QQ27
