特許
J-GLOBAL ID：200903026806903390
塗布法による金属酸化物膜の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 勝広 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-337623
公開番号（公開出願番号）：特開平8-183605
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 化学的手法により簡便で安定、且つ低温製膜温度でも充分に製膜し、機能性素子としての特性を持ち得る金属酸化物膜及びその製造方法を提供すること。【構成】 金属酸化物を経由して得られる金属フッ化物の膜を基板上に形成後、該膜を加熱及び焼成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。
請求項（抜粋）：
金属水酸化物を経由して得られる金属フッ化物の膜を基板上に形成後、該膜を加熱及び焼成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。
IPC (6件)：
C01B 13/32
, C01F 5/06
, C01F 5/12
, C01F 5/28
, C01G 49/00
, B05D 1/38
