特許
J-GLOBAL ID：200903026816303464
電極形成用蒸着マスク及び音叉型角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-105804
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287657
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 音叉型角速度センサの電極を形成するための蒸着マスク及び音叉型角速度センサを提供する。【解決手段】 音叉型振動子の側面に中央部分で分割され、長さ方向に延びる電極を形成するための電極形成用蒸着マスクにおいて、音叉型振動子の枝部の内側面と外側面に接する凸部を設ける。蒸着マスク10の凸部10aは枝部4の外側面の電極を分離するためのものである。凸部10bは枝部4の内側面に沿って長さ方向に延びており、枝部の内側面の電極を分離するものである。前記側面電極分離用の蒸着マスクを用いることにより、検出用のプラス・マイナスの両電極を形成することができる。
請求項（抜粋）：
音叉型振動子の側面に、中央部分で分割され長さ方向に延びる電極を形成するための電極形成用蒸着マスクにおいて、音叉型振動子の枝部の内側面と外側面に接する凸部を設けたことを特徴とする電極形成用蒸着マスク。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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