特許
J-GLOBAL ID：200903026829011640
管の不純物除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080802
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295849
出願日： 1993年04月07日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 配管の完成の前後を問わず、供給ラインの内周面に付着した水分を確実に除去でき、しかも、工期の短縮を図り得る管の不純物除去装置を提供する。【構成】 半導体製造装置の供給ライン3を構成する管30の内周面に、誘電体である酸化クロム6を被覆、又は、表面改質する。そして、管30の上流から下流にパージガスを流入させるとともに、管30には不純物除去具7を係合して高周波誘導加熱を施し、酸化クロム6を加熱して酸化クロム6に吸着していた水分を矢印で示すパージガスとともに管30の内部から外部に排出・除去する。
請求項（抜粋）：
流体を移送する管の内周面に、誘電体を設けて表面処理を施し、該管には不純物除去具を係合して高周波加熱を施し、該誘電体を加熱して管の内周面に付着した不純物を除去することを特徴とする管の不純物除去装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, B08B 9/02
, F17D 5/00
