特許
J-GLOBAL ID：200903026843062185
マイクロ波プラズマ処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286889
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142194
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【構成】 マイクロ波発振器23と、マイクロ波を伝送する導波管22と、導波管22に接続された誘電体線路20と、誘電体線路20に対向するように配置され、誘電体線路20に対向する一端がマイクロ波を透過する耐熱性板13で封止され、内部に試料台14が配置された円筒形状の金属製の反応容器10と、反応容器10内において耐熱性板13に接して配置された矩形の孔17aを有する金属板17とを備えているマイクロ波プラズマ処理装置。【効果】 プラズマを均一に発生させることができながら、しかも試料S処理に関して不要なプラズマ発生部分をなくし、プラズマの有効利用及び均一処理を可能にすることができる。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発生手段と、マイクロ波を伝送する導波管と、該導波管に接続された誘電体線路と、該誘電体線路に対向するように配置され、該誘電体線路に対向する一端がマイクロ波を透過する耐熱性板で封止され、内部に試料台が配置された円筒形状の金属製の反応容器と、該反応容器内において前記耐熱性板に接して配置された矩形の孔を有する金属板とを備えていることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H01L 21/302 B
, H01L 21/302 H
