特許
J-GLOBAL ID:200903026843087706
難燃性を有する感光性樹脂組成物及び感光性ドライフィルムレジスト
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-071759
公開番号(公開出願番号):特開2006-251715
出願日: 2005年03月14日
公開日(公表日): 2006年09月21日
要約:
【課題】優れた難燃性を有し、かつ良好なアルカリ水溶液への溶解性、現像性及び耐薬品性を有する感光性樹脂組成物、該感光性樹脂組成物を用いたドライフィルムレジスト、及び該ドライフィルムレジストを用いたプリント配線板を提供する。【解決手段】(A)水素原子又はメチル基と、少なくとも1個以上の(メタ)アクリロイル基又はグリシジル基を有する1価の有機基を有する環状リン酸エステル、(B)環状ホスファゼン化合物、(C)有機溶媒に可溶なポリイミド及び/又は有機溶媒に可溶なポリアミド酸、及び(D)光反応開始剤、を必須成分とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)下記一般式(1)で示される環状リン酸エステル
IPC (2件):
FI (3件):
G03F7/004 501
, G03F7/004 512
, G03F7/037 501
Fターム (18件):
2H025AA00
, 2H025AA06
, 2H025AA20
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC83
, 2H025BD03
, 2H025CA00
, 2H025CB25
, 2H025CB30
, 2H025CB41
, 2H025CC20
, 4H050AA03
, 4H050AB78
引用特許: