特許

J-GLOBAL ID：200903026848854179

感光性組成物

発明者： 早瀬 留美子 ,  浅川 鋼児 ,  仁木 博一 ,  親里 直彦 ,  若林 弘光
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245299
公開番号（公開出願番号）：特開平6-093045
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】表面に庇を生じることなく、断面矩形の微細なパターンを安定して形成し得る感光性組成物を提供する【構成】下記一般式(I)で表される酸により分解し得る置換基を有する化合物と、光照射により酸を発生する化合物と、下記一般式(II)で表されるケイ素を含むアミン化合物とを必須成分として含有する。【化1】(式中、R1 は1価の有機基を、mは0以上の整数を、nは正の整数を、R2 およびR3 は2価の有機基を、R4 〜R7 は1価の有機基を、L は正の整数を、夫々表す。)

請求項（抜粋）：

(a)酸により分解し得る置換基を有する化合物と、(b)光照射により酸を発生する化合物と、(c)ケイ素を含むアミン化合物とを必須成分として含有する感光性組成物。

IPC (2件)：

C08F212/14 MJY ,  H01L 21/312

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-204945