特許

J-GLOBAL ID：200903026850111680

膜厚管理装置及び膜厚検出方法

発明者： 増田 久
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-268725
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113229
出願日： 1995年10月17日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 分解能が高く操作が簡単な非破壊的に膜厚を検出する装置及び方法を提供することを目的とする。【解決手段】 膜厚管理装置は、基板とその上に形成された指定膜を含む試料の表面に光線を照射するための光源と、上記指定膜から発生する発射光を検出する受光器とを有し、該受光器によって得られた発射光の強さを表す信号によって上記指定膜の膜厚を検出するように構成されている。予め求めた上記指定膜の膜厚と上記発射光の強さの間の関係によって上記指定膜の膜厚を検出する。膜厚管理装置には上記試料の表面をエッチングするためのエッチング装置が設けられ、上記指定膜の膜厚が所定の厚さになったときエッチング工程が停止されるように構成されている。

請求項（抜粋）：

基板とその上に形成された指定膜を含む試料の表面に光線を照射するための光源と、上記指定膜から発生する発射光を検出する受光器とを有し、該受光器によって得られた発射光の強さを表す信号によって上記指定膜の膜厚を検出するように構成された膜厚管理装置。