特許

J-GLOBAL ID：200903026850287478

ガスセンサ及びガス検出方法

発明者： 町田 博宣 ,  小寺 志珠
出願人/特許権者： フィガロ技研株式会社
代理人 (1件)： 塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129528
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321231
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【構成】 絶縁基板上に、Sb添加の内層のSnO2膜と、Sb無添加の外層のSnO2膜とを積層したガスセンサの温度を室温付近と400°C付近とに交互に変化させ、高温側での出力からメタンを検出し、低温側の出力からCOを検出する。【効果】 メタンとCOとを、同じ金属酸化物半導体で同じ負荷抵抗を用いて検出でき、またCO検出時の温湿度依存性を小さくできる。

請求項（抜粋）：

ヒータにより、金属酸化物半導体の温度を周期的に変化させ、該金属酸化物半導体の抵抗値からCOと可燃性ガスとを検出するようにしたガスセンサにおいて、前記金属酸化物半導体を、Sbを添加したSnO2を用いた内層を、Sb無添加のSnO2を用いた外層で被覆して構成したことを特徴とするガスセンサ。

FI (3件)：

G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 B ,  G01N 27/12 D

Fターム (15件)：

2G046AA11 ,  2G046AA19 ,  2G046BA01 ,  2G046BA04 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BE02 ,  2G046BE03 ,  2G046DB07 ,  2G046EB01 ,  2G046EB06 ,  2G046FB02 ,  2G046FC02 ,  2G046FE36 ,  2G046FE39