特許

J-GLOBAL ID：200903026854659051

試料評価装置における収差補正方法及び半導体デバイスの製造方法

発明者： 中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368000
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170513
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】 荷電粒子線の偏向色収差、コマ収差、歪収差、偏向軌道のランディング角を低減する方法を提供する。【解決手段】 電子線1を第1偏向器2で偏向し、さらに第2偏向器3で振り戻して、電子線1の偏向軌道が光軸4と交わる交点5の位置を変化させる。第2偏向器3で振り戻された電子線は、試料6面を照射し、2次電子を発生させる。この2次電子は、対物レンズ7、8によって光軸4上に集められ、図で光軸上を上方に向かい、E×Bからなるビームスプリッタ10で軌道を偏向されて、軌道11を通り、収束電極12に集められる。第1偏向器2と第2偏向器3で、交点5の位置を変化させることにより、偏向色収差、コマ収差、歪収差、偏向軌道のランディング角のうち少なくとも一つを最小にすることができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を用いて試料を評価する装置であり、荷電粒子線源、2段の偏向器、対物レンズを有してなるものの収差を補正する方法であって、前記2段の偏向器によって偏向された荷電粒子線が光軸と交わる位置を調整することにより、偏向色収差、コマ収差、歪収差、偏向軌道のランディング角のうち少なくとも1つを低減することを特徴とする試料評価装置における収差補正方法。

IPC (6件)：

H01J 37/153 ,  G03F 1/08 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/244 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

H01J 37/153 B ,  G03F 1/08 S ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/244 ,  H01L 21/66 J

Fターム (19件)：

2H095BA08 ,  2H095BD02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB05 ,  4M106DB12 ,  4M106DB18 ,  4M106DB30 ,  5C033CC01 ,  5C033FF01 ,  5C033FF03 ,  5C033FF08 ,  5C033JJ01 ,  5C033JJ05 ,  5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033NP05