特許

J-GLOBAL ID：200903026857046646

薄膜磁気ヘッドの磁極先端部の形成方法

発明者： 梅本 美之 ,  村上 諭二
出願人/特許権者： 富士電気化学株式会社
代理人 (1件)： 茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-243579
公開番号（公開出願番号）：特開平9-063017
出願日： 1995年08月29日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 下部磁極先端部上にギャップ膜を介して載る上部磁極先端部にダレが生じず、下部磁極先端部のコア幅を所望の値に設定でき、しかも清浄な磁極先端部を形成できるようにする。【解決手段】 基板上に下部磁極、ギャップ膜、絶縁層で挾まれたコイル、上部磁極をこの順序で形成する構造の薄膜磁気ヘッドにおいて、ギャップ膜16を挾むように所定幅の下部磁極先端部12と上部磁極先端部14を設ける磁極先端部の形成方法である。予め下部磁極先端部を十分幅広に形成しておき、その上にギャップ膜を介して所定トラック幅となる上部磁極先端部を形成する。上部磁極先端部を覆うように下部磁極先端部上にそのコア幅に相当する所定幅のアルミナ膜40を成膜し、該アルミナ膜をマスクとして下部磁極先端部の両側部をエッチングし所定コア幅に整形する。

請求項（抜粋）：

基板上に下部磁極、ギャップ膜、絶縁層で挾まれたコイル、上部磁極をこの順序で形成する構造の薄膜磁気ヘッドであって、ギャップ膜を挾むように所定幅の下部磁極先端部と上部磁極先端部を設ける磁極先端部の形成方法において、予め下部磁極先端部を十分幅広に形成しておき、その上にギャップ膜を介して所定トラック幅となる上部磁極先端部を形成し、該上部磁極先端部を覆うように下部磁極先端部上にそのコア幅に相当する所定幅のアルミナ膜を成膜し、該アルミナ膜をマスクとして下部磁極先端部の両側部をエッチングし所定コア幅に整形することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの磁極先端部の形成方法。