特許
J-GLOBAL ID：200903026863523529
欠陥検出処理装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125480
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304286
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 欠陥種類ごとに最適な欠陥信号強調処理を独立して行うことで、種類の異なる個々の欠陥の検出能力を向上させることを可能にする。【解決手段】 検査対象のドラム4からの反射光は受光器5で受光され、増幅された後、A/D変換器7でデジタル信号に変換される。このデジタル信号は、空間フィルタ8、14にそれぞれ供給され、欠陥の種類に適した信号に強調される。そして、それぞれの欠陥強調された信号は信号記憶回路10、15に記憶され、それぞれの処理プロセッサ11、16で独立して欠陥部位の検出処理が行われる。この結果は上位のCPU20に出力される。
請求項（抜粋）：
検査対象の表面からの反射光に基づいて、前記表面上の欠陥を検出する欠陥検出装置であって、前記反射光を電気信号に変換する変換手段と、変換された電気信号を処理を入力し、欠陥の種類毎に対応する欠陥強調信号を発生する複数の欠陥強調信号発生手段とを備えることを特徴とする欠陥検出処理装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 A
, G01N 21/88 J
, G03G 21/00
