インクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法で製造されたインクジェット記録ヘッドおよびレーザ加工方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-187464
公開番号（公開出願番号）：特開2002-052718
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】【課題】フェムト秒レーザーを用い、インクが供給される側の反対面であるオリフィスプレートの外面側からレーザ照射し、インクジェット記録ヘッドを形成するようにすること。【解決手段】インク供給口等を、板材の接合または接着により形成したインクジェット記録ヘッドをレーザ加工するに際して、レーザ光として1ピコ秒以下のパルス放射時間にて発振するレーザ発振器から放射される空間的時間的なエネルギー密度が非常に大きい、複数パルスのレーザ光を用い、前記インクが供給される側の反対側であるオリフィスプレートの外面側から、レーザ光を照射してインクジェット記録ヘッドを加工する。

請求項（抜粋）：

記録媒体に付着させるインク液滴を吐出するためのインク吐出口、前記吐出口に供給するためのインクを貯える液室、前記吐出口と前記液室とを連通するインク流路、前記インク流路の一部に設けられインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子、前記液室に外部からインクを供給するためのインク供給口等を、板材の接合または接着により形成したインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記インク吐出口が形成されるオリフィスプレートをレーザ加工するに際して、前記レーザ光として1ピコ秒以下のパルス放射時間にて発振するレーザ発振器から放射される空間的時間的なエネルギー密度が非常に大きい、複数パルスのレーザ光を用い、前記インクが供給される側の反対側であるオリフィスプレートの外面側からレーザ光を照射し、該オリフィスプレートの外面にインク吐出口の加工パターンをフォーカス投影して加工することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (5件)：

B41J 2/135 , B23K 26/00 , B23K 26/06 , B41J 2/16 , B23K101:36

FI (5件)：

B23K 26/00 G , B23K 26/06 E , B23K101:36 , B41J 3/04 103 N , B41J 3/04 103 H

Fターム (18件)：

2C057AF43 , 2C057AF93 , 2C057AG02 , 2C057AG05 , 2C057AG07 , 2C057AP02 , 2C057AP13 , 2C057AP23 , 2C057AP59 , 2C057AP60 , 2C057AQ02 , 2C057AQ03 , 2C057BA03 , 4E068CA01 , 4E068CA04 , 4E068CD05 , 4E068CD10 , 4E068DA09

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