特許
J-GLOBAL ID：200903026875566037
水素分離膜の製造方法及びその製造装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
世良 和信 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-123964
公開番号（公開出願番号）：特開平11-300182
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】 反応器内におけるPd膜化が可能となる製膜範囲を拡大し、大面積化を可能とする水素分離膜の製造方法及びその装置を提供する。【解決手段】 反応管1の内部にPd膜源物質12から多孔質アルミナ中空糸2(膜担持体)の製膜範囲4へ向かって流れるキャリヤーガスによって、昇華させたPd膜源物質12を製膜範囲4へ供給する。
請求項（抜粋）：
反応器の内部にPd膜源物質と膜担持体とを配置し、前記Pd膜源物質を昇華させると共に製膜範囲における熱分解により、前記膜担持体にPd膜を製膜する水素分離膜の製造方法において、前記Pd膜源物質の配置位置から膜担持体の配置された製膜範囲へ向かって流れるキャリヤーガスによって、前記昇華したPd膜源物質を製膜範囲へ供給することを特徴とする水素分離膜の製造方法。
IPC (5件)：
B01D 71/02 500
, B01D 67/00
, C01B 3/56
, C23C 16/18
, C23C 16/44
B01D 71/02 500
, B01D 67/00
, C01B 3/56 Z
, C23C 16/18
, C23C 16/44 B
