両面露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-346551
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166495
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】ワークの両面露光と、搬入、移動、搬出とを独立して行えるようにすることで、加工時間の短縮と作業効率の向上を図る。【解決手段】表面露光部2aと裏面露光部2bとが対向する露光機1を搬送ラインからオフライン状態に備え、その表面露光位置と搬入位置との間で旋回する表面用シャトル装置8aの表面露光位置及び搬入位置の夫々にワークチャック9を設け、同様に裏面露光位置と搬出位置との間で旋回する裏面用シャトル装置8bの裏面露光位置及び搬出位置の夫々にワークチャック9を備え、ワークWの表裏面の露光中に、例えば搬入位置のワークチャック9と搬出位置のワークチャック9との間で、表面露光済みのワークWを移動して、次の裏面露光に備えたり、未露光のワークを搬入位置に搬入したり、両面露光済みのワークを搬出位置から搬出したりできるようにする。

請求項（抜粋）：

プリント基板をワークとし、その表裏両面を露光する露光部を対向して備え、且つ各露光部で独立してワークの表裏両面の夫々を露光できる露光機を、ワークの搬送ラインのオフラインに備えた両面露光装置であって、ワークを搬送ラインから搬入する位置と、ワークを搬送ラインに搬出する位置と、ワークの何れか一方の面に露光機の何れか一方の露光部で露光する位置と、ワークの何れか他方の面に露光機の何れか他方の露光部で露光する位置との少なくとも四カ所にワークチャックを備えたシャトル装置を設けたことを特徴とする両面露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 , H05K 3/00

FI (2件)：

G03F 7/20 501 , H05K 3/00 H

Fターム (5件)：

2H097AA01 , 2H097DB07 , 2H097GA07 , 2H097GA22 , 2H097LA09

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