特許

J-GLOBAL ID：200903026881063829

スロットアンテナを有するプラズマ処理装置

発明者： 渡辺 成一 ,  古瀬 宗雄 ,  田村 仁
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159508
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012594
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】マイクロ波プラズマ処理装置において、プラズマの均一性を制御しやすいプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】マイクロ波を利用したプラズマ処理装置において、同軸型空洞共振器8を用い、スロットアンテナ9が配置された壁面に流れる表面電流の方向に対し平行でも直角でもない傾斜した角度でスロットアンテナを設け、同軸型空洞共振器8内に容易にTEMモードのマイクロ波を励振させ、TEMモードのマイクロ波モードの比率を変更して、生成されるマイクロ波プラズマの均一性を制御する。

請求項（抜粋）：

真空排気装置が接続され内部を減圧可能な処理室と、前記処理室内へのガス供給装置と、スロットアンテナから放射されたマイクロ波を利用して前記処理室内部にプラズマを発生させるプラズマ発生手段とから成るプラズマ処理装置において、前記プラズマ発生手段がマイクロ波の同軸型空洞共振器を有し、該同軸型空洞共振器の底部にスロットアンテナを設けたことを特徴とするスロットアンテナを有するプラズマ処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

H01L 21/302 B ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 B