特許
J-GLOBAL ID：200903026891016217
加速度センサとその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 正行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257606
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092188
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【構成】固定部5、錘6及び錘6と固定部5とを可撓性をもって連結する複数の梁7,7を備えたチップ2を準備し、このチップ2の錘6及び梁7,7を蓋3,4によって気密封止した後、少なくとも一つの所望の梁7が残るように他の梁7を切断することを特徴とする加速度センサの製造方法。【効果】たとえ梁7を薄くしても製造工程における加速度センサ1の梁7の破壊を未然に防止することができる。従って、センサ1の感度向上と歩留まり向上とを両立できる。
請求項（抜粋）：
固定部と、本体に加速度が加わることによって固定部を基準として相対的に変位する錘と、この錘と固定部とを可撓性をもって連結する梁と、この梁内に形成され、錘の変位によって撓む梁の変形量に応じてピエゾ抵抗効果を生じるゲージ部と、このゲージ部の電気信号を外部に導く電気回路と、固定部を挟持するとともに前記錘及び梁を封止する蓋とを備え、その蓋は、少なくとも前記梁を覗くことができる部分がガラスよりなることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
引用特許：
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