特許
J-GLOBAL ID:200903026893064987

ウエーハ収納容器の積み重ね構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 亮一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-245255
公開番号(公開出願番号):特開平5-063067
出願日: 1991年08月30日
公開日(公表日): 1993年03月12日
要約:
【要約】[目的] 複数のウエーハ収納容器を正確に位置決めして、且つ脱落することなく安定して積み重ねることができるウエーハ収納容器の積み重ね構造を提供すること。[構成] 外箱本体1Aの上部に上蓋1Bを被せて構成されるウエーハ収納容器において、前記上蓋1Bの上面に帯状の段凸部6を一方向に全長に亘って突設するとともに、該段凸部6の両端部に溝7,7を形成し、別のウエーハ収納容器の外箱本体1Aの底部に全長に亘って貫設された段凹部10を前記上蓋1Bの段凸部6に係合させるとともに、同外箱本体1Aの前記段凹部10に突設された係止片11,11を上蓋1Bの前記溝7,7に係合させることによって複数のウエーハ収納容器を積み重ねる。ウエーハ収納容器は、左右及び前後方向の移動が規制されて位置決めされた状態で積み重ねられるため、脱落することなく、安定して積み重ねられる。
請求項(抜粋):
外箱本体の上部に上蓋を被せて構成されるウエーハ収納容器において、前記上蓋の上面に帯状の段凸部を一方向に全長に亘って突設するとともに、該段凸部の両端部に溝を形成し、別のウエーハ収納容器の外箱本体の底部に全長に亘って貫設された段凹部を前記上蓋の段凸部に係合させるとともに、同外箱本体の前記段凹部に突設された係止片を前記上蓋の溝に係合させることによって複数のウエーハ収納容器を積み重ねるようにしたことを特徴とするウエーハ収納容器の積み重ね構造。
IPC (3件):
H01L 21/68 ,  B65D 21/02 ,  B65D 85/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平2-020042
  • 特開平3-114245

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