特許
J-GLOBAL ID：200903026898609388
回転式塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-098748
公開番号（公開出願番号）：特開平6-285414
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 余剰塗布液が飛沫となって外部に飛散し、周囲を汚染するのを防止することができる回転式塗布装置を提供する。【構成】 スペーサ20にトラップ部20bが設けられており、回転台6が回転して一定以上の遠心力が加わると、基板2からの余剰塗布液がトラップ部20bに貯留される。また、トラップ部20bの下方には開口20cが設けられるとともに、当該開口20cには塗布液の流出を促すための流出誘導ピン21aが配設されており、回転台6が減速されて遠心力が一定未満になると、トラップ部20bに貯留されている余剰塗布液が流出誘導ピン21aに誘導されて開口20cから速やかに外部に流出される。【効果】 回転台6が低速回転、あるいは停止している状態で余剰塗布液が外部に速やかに流出されるので、その余剰塗布液の飛散が抑えられ、その周囲の汚染を防止することができる。
請求項（抜粋）：
基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、前記回転台に支持された基板と所定間隔を隔てた上方位置に平行配置された上部回転板と、前記回転台の外周部と前記上部回転板の外周部との間に配設されたスペーサとを備え、前記基板を水平支持したまま前記回転台によって回転させることにより、前記基板の上面に塗布液を塗布する回転式塗布装置において、前記スペーサに設けられ、前記基板の回転により飛散された余剰塗布液を回転時の遠心力により貯溜するトラップ部と、当該貯溜された余剰塗布液が遠心力の低下により外部に流出するように前記トラップ部下部に設けられた開口部と、前記トラップ部に設けられ、前記トラップ部に貯留された余剰塗布液を前記開口部に誘導し、その流出を促進する流出誘導部材と、を備えたことを特徴とする回転式塗布装置。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
