特許

J-GLOBAL ID：200903026901467930

気体純度情報の測定方法とこれを用いたチャンバ装置と露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 長谷川 隆行 ,  藤岡 秀彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-153623
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242084
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】 ヘリウムのような直接測定ができない気体であっても、気体純度情報を正確且つ容易にに測定できる方法を提供することを目的とする。【構成】 超音波発振素子1と超音波検出素子2、及び温度測定素子5によってチャンバ4の空間内の音速と温度を測定する。純度算出回路7では、この音速測定値と温度測定値に基づいて空間内の気体純度を求める。

請求項（抜粋）：

密閉空間内で音速を測定し、この測定値に基づいて密閉空間内の気体の純度情報を求めることを特徴とする気体純度情報の測定方法。

IPC (2件)：

G01N 29/18 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-101216
  
• 特開平3-135010
  
• 特開平2-198357