特許
J-GLOBAL ID：200903026908717869
三次元形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061747
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233520
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 被測定物の面の傾きに左右されずに安定して、高い精度で被測定物の三次元形状を測定する。【構成】 演算・制御部18は、スリット状の照射光14aの拡がり方向(Y方向)に対応する方向と直交する方向に並んだ受光部15の2次元受光センサの受光素子の列であって、受光部15の出力信号における当該列に属する複数の受光素子にそれぞれ対応する複数のレベルのうちの最大レベルが所定の範囲内に入る列、の数が多くなるように、前記2次元受光センサの出力信号に基づいて、照射部駆動回路17に制御信号を与えて、スリット状の照射光14aの輝度を調整する。
請求項（抜粋）：
被測定物に対してスリット状の照射光を照射する照射部と、2次元配列された複数の受光素子を持った2次元受光センサを有する受光部であって、前記照射光による前記被測定物上の像を前記2次元受光センサ上で受光する受光部と、を備えた光距離センサと、前記光距離センサと前記被測定物との間の相対位置を変更させる位置変更手段と、前記光距離センサと前記被測定物との間の所定の複数の相対位置に応じた前記2次元受光センサの出力信号に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを作製する三次元形状データ作製手段と、を備えた三次元形状測定装置において、前記スリット状の照射光の拡がり方向に対応する方向と直交する方向に並んだ前記2次元受光センサの受光素子の列であって、前記出力信号における当該列に属する複数の受光素子にそれぞれ対応する複数のレベルのうちの最大レベルが所定の範囲内に入る列、の数が多くなるように、前記2次元受光センサの前記出力信号に基づいて、前記照射光の輝度を調整する調整手段を、更に備えたことを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G06T 7/00
, G06T 1/00
G01B 11/00 B
, G01B 11/24 K
, G06F 15/62 415
, G06F 15/64 M
