特許
J-GLOBAL ID：200903026909654828
ラジカル反応による無歪精密切断装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280554
公開番号（公開出願番号）：特開平5-096500
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】 半導体デバイス製造用のシリコン及びゲルマニウム単結晶、又はガリウム-砒素化合物等を切断してウェハーを製造するラジカル反応による無歪精密切断装置に関する。【構成】 高周波電源から供給される高周波電圧を昇圧する導体壁で囲まれた空洞共振器(1)を備え、該空洞共振器の高電圧発生部となる平行ギャップ(G) を構成する一方の基板(5)中央部に開口(16)を形成するとともに、他方の対向板(8)の中央部に該対向板と電気的に連続し且つ中心に外部に連通する空洞部(13)を形成した引出し電極体(12)を延設し、該引出し電極体の基部(14)を共振器内部を貫通させて前記開口から該開口縁と電気的に絶縁状態で導出してその先端部をアース電位の反応容器(2)内に配設し、ワイヤー電極(32)を外部から引出し電極体の空洞部を通して反応容器内に導くとともに、該引出し電極体の先端間に電気的に接触させて張設してなる。
請求項（抜粋）：
高周波電圧を印加したワイヤー電極と加工部間に反応ガスに基づく中性ラジカルを発生させ、この中性ラジカルと加工部の原子又は分子とのラジカル反応によって生成した揮発性物質を気化させて除去し、該加工部の後退により被加工物を切断してなるラジカル反応による無歪精密切断装置において、高周波電源から供給される高周波電圧を昇圧する導体壁で囲まれた空洞共振器を備え、該空洞共振器の高電圧発生部となる平行ギャップを構成する一方の基板中央部に開口を形成するとともに、他方の対向板の中央部に該対向板と電気的に連続し且つ中心に外部に連通する空洞部を形成した引出し電極体を延設し、該引出し電極体の基部を共振器内部を貫通させて前記開口から該開口縁と電気的に絶縁状態で導出してその先端部をアース電位の反応容器内に配設し、ワイヤー電極を外部から引出し電極体の空洞部を通して反応容器内に導くとともに、該引出し電極体の先端間に電気的に接触させて張設してなることを特徴とするラジカル反応による無歪精密切断装置。
IPC (6件)：
B26F 3/00
, C23F 4/02
, H01L 21/302
, H01L 21/78
, H01P 7/06
, H05H 1/46
