特許

J-GLOBAL ID：200903026910068460

クリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材

発明者： 石堂 智
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019317
公開番号（公開出願番号）：特開平11-208708
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】 ゴミの発生量を従来に比べて大幅に低減することができ、省資源化を図ることのできるクリーンルーム内への搬入物の梱包方法および梱包材を提供する。【解決手段】 搬入物1を包む梱包材2は、低発塵性でかつクリーニング可能な材質物から構成されている。

請求項（抜粋）：

清浄雰囲気とされたクリーンルーム内へ搬入物を搬入するにあたり、前記搬入物を、低発塵性でかつクリーニング可能な材質物からなる梱包材を用いて梱包することを特徴とするクリーンルーム内への搬入物の梱包方法。

IPC (3件)：

B65D 65/04 ,  H01L 21/68 ,  D03D 15/00 101

FI (3件)：

B65D 65/04 A ,  H01L 21/68 A ,  D03D 15/00 101