特許
J-GLOBAL ID:200903026911390200
圧電素子
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
大川 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-121477
公開番号(公開出願番号):特開平5-315664
出願日: 1992年05月14日
公開日(公表日): 1993年11月26日
要約:
【要約】【目的】圧電素子のクラック発生を防止する。【構成】圧電板1の表面に形成された電極層2の表面を研磨により平滑にする。この圧電素子3と電極板とを交互に積層した積層型圧電アクチュエータは、電極層2の表面凹凸により積層した上下の圧電板1に不均一な荷重がかかることがなく、応力集中による圧電板1のクラック発生が防止される。電極層2の接触面剛性が高くなるので、積層型圧電アクチェータとしての高荷重下での変位が向上する。
請求項(抜粋):
圧電板と、該圧電板の表面に形成された電極層とよりなる圧電素子において、前記電極層の表面が研磨により平滑にされていることを特徴とする圧電素子。
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