特許

J-GLOBAL ID：200903026912184999

表面検査装置

発明者： コスマス・マリン ,  エドガール・エフ・シユタイクマイエル ,  トーマス・ネーゼンゾーン ,  ハリー・エル・ザワツキー ,  ハインリッヒ・アウダーセット
出願人/特許権者： テーイーテー・テクノ・インベストメント・トラスト・セトルメント
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-075562
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167457
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 表面の欠陥を全面にわたって非破壊的に光学的に検査できる高感度装置を提供する。【構成】 光源2と対物レンズ9の間のビーム通路に、中間像31を与える非点収差レンズ系5を配設し、中間像に応じて表面10を走査する時の送りが表面に投影された中間像の長さに相当する。ビーム通路に設けた暗視野ビーム遮蔽構造群18が照明ビーム1を正確に中心に直角に偏向させた後、対物レンズ9を通過して表面に向かう。表面から出射し、対物レンズによって集束された光は光検出器19に向かう。評価電子回路21は光検出器の増幅された出力信号を、点状、線状および面状欠陥による測定値に分解する。評価電子回路は電算機ユニット22を介して、一回の測定の全ての測定値の全体を表示する周辺装置23,24,25に接続している。

請求項（抜粋）：

照明ビーム1が対物レンズ9を通過して対象物体11の検査すべき表面10に垂直に向かい、載置円板13を駆動部に固定し、対象物体11の表面10を照明ビーム1によってスパイラル状に走査し、対象物体11の表面10から放射され、対物レンズ9に集束される光を受光する光検出器19を装備し、この検出器の出力端を増幅器20に接続し、照明ビーム1を発生させる光源2と、対物レンズ9と、検査ないしは調査すべき対象物体11を載せる載置円板13とを用いて、特に表面の点状、線状および面状欠陥を高感度で方向に無関係に測定する表面検査装置において、光源2と対物レンズ9の間のビーム通路に、非点収差レンズ系5を配設し、このレンズ系によって中間像31を発生させ、光源2と対物レンズ9の間のビーム通路に、調節可能な暗視野偏向系8を有する暗視野ビーム遮蔽構造群18を配設し、その場合、照明ビーム1が偏向した後、正確に中心に来て、垂直になって、対物レンズ9を通過して対象物体11に向かい、対物レンズ9、暗視野ビーム遮蔽構造群18および暗視野ビーム遮蔽構造群18と光検出器19の間に配設された少なくとも1個の絞り17が、光軸34に対して回転対称の結像光学系を形成し、電算機ユニット22に接続する評価電子回路21に増幅器20を接続し、前記評価電子回路が増幅器20から発生した出力信号を、調査した対象物体11の表面の点状、線状および面状の欠陥から生じる測定値に分解し、各瞬時走査位置を求める装置を配設し、その場合、前記走査位置がそれぞれ同じ時点で生じる測定値に付属し、電算機ユニット22に接続する周辺装置23,24,25を備え、これ等の周辺装置によって一回の測定の全ての測定値全体を表示ないしは記憶させる、ことを特徴とする装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-035246
  
• 特開昭58-174803
  
• 特開昭63-143830