光学式位置検出装置用の光源及び位置検出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083882
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273014
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】半導体露光装置におけるウエハステージの位置を検出するための光学的位置検出装置に用いられる、簡素な構造の光学的位置検出装置用の光源を提供する。【構成】この光源は、半導体露光装置用の露光光源を兼ね、且つ、露光光源からのレーザ光の一部を取り出すための光路分割手段40を含み、露光光源は、(イ)波長λの第2高調波を射出し得るレーザ光源10と、(ロ)レーザ光源10からのレーザ光が入射され、そしてこの入射光の第2高調波に基づいた波長λ’のレーザ光、及び波長λのレーザ光を射出し得る第2高調波発生装置20と、(ハ)光共振器の共振器長を制御する共振器長制御装置30から成り、光路分割手段40によって取り出された波長λのレーザ光を用いて光学的位置検出装置によりウエハステージ65の位置を検出する。

請求項（抜粋）：

半導体露光装置におけるウエハステージの位置を検出するための光学式位置検出装置に用いられる光学式位置検出装置用の光源であって、該光源は、半導体露光装置用の露光光源を兼ね、且つ、該露光光源からのレーザ光の一部を取り出すための光路分割手段を含み、該露光光源は、(イ)レーザダイオード、Nd:YAGから成る固体レーザ媒質及び非線形光学結晶素子から構成された、波長λの第2高調波を射出し得るレーザ光源と、(ロ)非線形光学結晶素子及び光共振器から成り、該レーザ光源から射出された波長λのレーザ光が入射され、そして該入射光の第2高調波に基づいた波長λ’のレーザ光、及び波長λのレーザ光を射出し得る第2高調波発生装置と、(ハ)該光共振器の共振器長を制御するための共振器長制御装置、から成り、光路分割手段によって取り出された波長λのレーザ光を用いて光学式位置検出装置によりウエハステージの位置を検出することを特徴とする光学式位置検出装置用の光源。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G02F 1/37 , G03F 7/20 521 , G03F 9/00

FI (2件)：

H01L 21/30 525 L , H01L 21/30 515 B

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