特許

J-GLOBAL ID：200903026931248655

耐蝕性部材

発明者： 牛越 隆介 ,  ▲昇▼ 和宏 ,  河畑 賢治
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058727
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251365
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 広い温度範囲に亘って、ハロゲン系腐蝕性ガスに対して耐久性のある耐蝕性部材を提供することである。【構成】 ClE3, NF3, CF4等のクリーニングガス、エッチングガス、WF6, SiH2Cl2等の成膜用ガスに対し、窒化アルミニウム焼結体を基材とする耐蝕性部材が、極めて腐蝕されにくい。この耐蝕性は、非酸化物系セラミックスであるα-SiC,β-SiC, Si3N4やサイアロン、カーボンと比較しても極めて顕著である。

請求項（抜粋）：

ハロゲン系腐蝕性ガスに暴露されるべき耐蝕性部材であって、窒化アルミニウム焼結体を基材とする耐蝕性部材。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/22 ,  H05B 3/14

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-123094
  
• 特開昭63-140085