特許
J-GLOBAL ID：200903026932980953
スピンコーティング用組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-007732
公開番号（公開出願番号）：特開平7-216305
出願日： 1994年01月27日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：
【要約】【目的】 ストライエーションがなく厚みが均一で、かつ表面が平坦なシリカ被膜を得る。【構成】 A.モノマー含有率が1%以下であるテトラアルコキシシランの部分加水分解物、B.アルコール系溶媒、C.水、D.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。
請求項（抜粋）：
A.モノマー含有率が1重量%以下であるテトラアルコキシシランの部分加水分解物B.アルコール系溶媒C.水D.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。
IPC (4件)：
C09D183/02 PMN
, G03F 7/16 502
, H01L 21/316
, B05D 1/40
