特許

J-GLOBAL ID：200903026932980953

スピンコーティング用組成物

発明者： 今里 彰秀 ,  山本 昌樹 ,  遠田 淳 ,  鳥海 傑
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-007732
公開番号（公開出願番号）：特開平7-216305
出願日： 1994年01月27日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：

【要約】【目的】 ストライエーションがなく厚みが均一で、かつ表面が平坦なシリカ被膜を得る。【構成】 A.モノマー含有率が1%以下であるテトラアルコキシシランの部分加水分解物、B.アルコール系溶媒、C.水、D.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

請求項（抜粋）：

A.モノマー含有率が1重量%以下であるテトラアルコキシシランの部分加水分解物B.アルコール系溶媒C.水D.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

IPC (4件)：

C09D183/02 PMN ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/316 ,  B05D 1/40

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-311781
  
• 特開平2-169668
  
• 特開平4-311781
  
• 特開平2-169668