焦点位置検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-078087
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271597
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】低倍率の対物レンズを用いた場合でも、精度良く合焦可能な焦点位置検出装置を提供する。【解決手段】対物光学系によって形成される像面の位置と所定の像面の位置との位置ずれを検出する焦点位置検出装置において、対物光学系と像面との間に配置され、像面に到達する光の一部を取り出し、像面とは異なる位置で第2の像面を形成させる光路分割手段と、第2の像面を被検像面へ再結像させる第1の再結像光学系と、第1の再結像光学系より大きな倍率を有し、被検像面へ射出する光束を制限する開口絞りを有する第2の再結像光学系と、第1の再結像光学系と第2の再結像光学系とを交互に交換することが可能な交換手段と、第1の再結像光学系または第2の再結像光学系から被検像面へ射出される光束を複数の光束に分割する光束分割手段と、光束分割手段により分割された複数の光束を、光電的に検出する検出手段と、を備える焦点位置検出装置を提供する。

請求項（抜粋）：

対物光学系によって形成される像面の位置と所定の像面の位置との位置ずれを検出する焦点位置検出装置において、前記対物光学系と前記像面との間に配置され、前記像面に到達する光の一部を取り出し、前記像面とは異なる位置で第2の像面を形成させる光路分割手段と、前記第2の像面を被検像面へ再結像させる第1の再結像光学系と、該第1の再結像光学系より大きな倍率を有し、前記被検像面へ射出する光束を制限する開口絞りを有する第2の再結像光学系と、前記第1の再結像光学系と前記第2の再結像光学系とを交互に交換することが可能な交換手段と、前記第1の再結像光学系または前記第2の再結像光学系から前記被検像面へ射出される光束を複数の光束に分割する光束分割手段と、該光束分割手段により分割された複数の光束を、光電的に検出する検出手段と、を備えることを特徴とする焦点位置検出装置。

IPC (3件)：

G02B 7/28 , G02B 21/00 , G03B 13/36

FI (3件)：

G02B 7/11 J , G02B 21/00 , G03B 3/00 A

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