特許

J-GLOBAL ID：200903026935999604

マイクロヒータ

発明者： 木村 光照
出願人/特許権者： 木村 光照 ,  リコー精器株式会社
代理人 (1件)： 佐竹 良明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-268310
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084604
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【目的】 マイクロヒータの上にトランジスタやダイオードなどの半導体素子をつくれるようにする。【構成】 シリコン基板10の表面に電気絶縁体の薄膜15がつくられており、該基板に穴21があいていて、この穴の上に前記電気絶縁膜15が架橋状に延びている。この架橋18に高濃度のホウ素を含有するp形単結晶シリコン薄膜の発熱体14が密着形成されている。

請求項（抜粋）：

シリコン基板(10,41)と、この基板の表面につくられた電気絶縁体の薄膜(15)と、該基板にあけられた穴(21)の上の部分の電気絶縁体薄膜(18)に密着形成された、高濃度のホウ素を含有するp形単結晶シリコン薄膜の発熱体(14)からなるマイクロヒータ。

IPC (5件)：

H01C 7/00 ,  G01P 5/12 ,  H01L 35/00 ,  H05B 3/14 ,  G01N 27/41

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-014401
  
• 特開昭63-259459
  
• 特開平3-233350