特許

J-GLOBAL ID：200903026936653957

変位計及び変位測定方法、厚み計

発明者： 秋柴 雄二 ,  秋山 雅彦 ,  中塚 均
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257255
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113617
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：

【要約】【目的】 被測定物の表面の変位を高精度、高速度に測定する。【構成】 被測定物16に光を投射するレーザダイオード12と、レーザダイオード12と被測定物16との間に配した対物レンズ15と、対物レンズ15を振動させる音叉21と、被測定物16からの反射光が通過するピンホール17a と、ピンホール17aを通った光を受光するホトダイオード18と、ホトダイオード18の受光量最大時点で、対物レンズ15の検出位置信号を捉える演算部20と、捉えた検出位置信号に基づいて距離に変換する距離変換部50とを備える。

請求項（抜粋）：

発光部が出射した光を対物レンズを通して被測定物に投射し、被測定物からの反射光を受光して、受光した受光量に基づいて被測定物の表面の変位を測定する変位計において、前記対物レンズを所定振幅で振動させる加振部と、対物レンズの位置を検出する位置検出部と、被測定物からの反射光が通過する光絞り部と、該光絞り部を通った光を受光する受光部と、前記位置検出部の検出位置信号を、前記受光部の受光量の最大時点で捉える手段と、捉えた検出位置信号に基づいて被測定物の表面の変位を求める手段とを備えることを特徴とする変位計。