特許
J-GLOBAL ID：200903026943821920
高電気絶縁性冷媒用腐食センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-292704
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126776
出願日： 1991年11月08日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】高電気絶縁性冷媒として用いられるフルオロカーボン液中で使用できる上に測定精度,感度に優れコンパクトな腐食環境定量装置を提供する。【構成】高電気絶縁性冷媒用センサは、電気電子部品の高電気絶縁性冷媒の循環路中において、高電気絶縁性冷媒用センサは半導体基板上に微細な電極を配置したセンサとそのセンサにより環境変化に伴う電極系のインピーダンスを測定してその腐食環境を定量化する回路を備えている。【効果】高電気絶縁性冷媒中の金属材料の腐食損傷及び冷媒の液質を容易に高精度高感度で定量化することができる。
請求項（抜粋）：
電気電子部品の高電気絶縁性冷媒の循環路中に設け、半導体基板上に微細な電極を配置したセンサにおいて、環境変化に伴う電極系のインピーダンスを測定することにより腐食環境を定量化する回路を備えていることを特徴とする高電気絶縁性冷媒用腐食センサ。
IPC (2件)：
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