特許
J-GLOBAL ID:200903026943856472

多層塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-289266
公開番号(公開出願番号):特開2000-117175
出願日: 1998年10月12日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】塗布装置において、2層以上塗布を行なう場合に、液の混ざりが起こりにくく、膜厚精度がよくなる、多層塗布装置を提供すること。【解決手段】塗布ヘッドが塗布液貯留用の液溜め部および液溜め部より通ずるスロットにより形成される塗布液吐出用のノズルを複数個有し、そのうち最上流側のノズルが幅の広い開口部を有し、2番目以降のノズルがスロットの延長により形成された開口部を有する多層塗布装置を提供する。
請求項(抜粋):
塗布液吐出用の塗布ヘッドがバックアップロールに対向して設置してあり、該バックアップロールの回転により走行する支持体に塗布液を塗布する塗布装置において、塗布ヘッドが塗布液貯留用の液溜め部および液溜め部より通ずるスロットにより形成される塗布液吐出用のノズルを複数個有し、そのうち最上流側のノズルが幅の広い開口部を有し、2番目以降のノズルがスロットの延長により形成されている開口部を有することを特徴とする多層塗布装置。
IPC (3件):
B05C 5/02 ,  B05C 9/06 ,  B05C 11/10
FI (3件):
B05C 5/02 ,  B05C 9/06 ,  B05C 11/10
Fターム (9件):
4F041AA12 ,  4F041CA03 ,  4F041CA12 ,  4F041CA16 ,  4F041CA25 ,  4F042AA22 ,  4F042CB11 ,  4F042DD04 ,  4F042DF23

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