特許

J-GLOBAL ID：200903026944452987

プラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法

発明者： 鵜野 高史 ,  山口 幹郎
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-339678
公開番号（公開出願番号）：特開2001-151911
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】大がかりな装置を設備することなしに、かつ無駄なプラスチックフィルムを使用することなしに、高清浄化プラスチックフィルム又はシートを得られるようにする。【解決手段】プラスチックフィルム又はシート15をクリーンルーム又はクリーンブース16内で高清浄化する方法であって、該清浄化方法が、プラスチックフィルム又はシート15にイオナイズドエアー19を吹き付け除電処理する工程と、無塵空気中で振動発生装置17を使用して振動させて洗浄する工程とを含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

プラスチックフィルム又はシートをクリーンルーム又はクリーンブース内で高清浄化する方法であって、該高清浄化方法が、プラスチックフィルム又はシートを除電処理する工程と無塵空気中で振動させて洗浄する工程とを含むことを特徴とするプラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法。

IPC (7件)：

C08J 7/00 CER ,  C08J 7/00 CEZ ,  B08B 5/02 ,  B08B 5/04 ,  B08B 7/02 ,  H01L 21/02 ,  C08L101:00

FI (7件)：

C08J 7/00 CER C ,  C08J 7/00 CEZ C ,  B08B 5/02 A ,  B08B 5/04 A ,  B08B 7/02 ,  H01L 21/02 D ,  C08L101:00

Fターム (17件)：

3B116AA08 ,  3B116AB13 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32 ,  3B116BB72 ,  3B116BB75 ,  3B116BC01 ,  3B116BC05 ,  4F073AA03 ,  4F073AA25 ,  4F073BA07 ,  4F073BA08 ,  4F073BA11 ,  4F073BA23 ,  4F073BA29 ,  4F073BB01 ,  4F073CA69

引用特許：

審査官引用 (1件)

• スリッタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-356913   出願人：株式会社西村製作所, 三菱油化株式会社, 三菱油化エンジニアリング株式会社