特許
J-GLOBAL ID：200903026964010719
高フィルファクターアレイのための、連接式サスペンション構造を有する微小電子機械システム2次元ミラー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高島 一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-504118
公開番号（公開出願番号）：特表2006-524349
出願日： 2004年04月20日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
本発明は、微小電気機械システム(MEMS)ミラーデバイスを提供する。当該デバイスは、ミラーを有し、該ミラーは、第一端部に2次元回転連接式ヒンジを有し、かつ該第一端部の反対側の第二端部に1次元回転連接式ヒンジを有する。可動カンチレバーを有し、該可動カンチレバーは、該1次元回転連接式ヒンジを介して該ミラーに接続されている。支持構造体を有し、該支持構造体は、該2次元回転連接式ヒンジを介して該ミラーに接続されており、かつ該可動カンチレバーに接続されている。これによって、該可動カンチレバーの動きにより、第一の回転軸において該ミラーの回転が生じ、そして、該ミラーが該第一の回転軸に対して垂直な第二の捩じり回転軸に関して回転可能でもある。
請求項（抜粋）：
微小電子機械システム(MEMS)ミラーデバイスであって、
ミラーを有し、該ミラーは、第一端部に2次元回転連接式ヒンジを持ちかつ該第一端部の反対側の第二端部に1次元回転連接式ヒンジを持ち、
可動カンチレバーを有し、該可動カンチレバーは、該1次元回転連接式ヒンジを介して該ミラーに接続されており、
支持構造体を有し、該支持構造体は、該2次元回転連接式ヒンジを介して該ミラーに接続されており、かつ該可動カンチレバーに接続されており、
これによって、前記可動カンチレバーの動きが第一の回転軸における該ミラーの回転を生じさせ、かつ、該ミラーが前記第一の回転軸に対して垂直な第二の捩じり回転軸の周りを回転可能でもある、
前記デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H041AA14
, 2H041AA18
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
