走査電子顕微鏡における自動軸調整装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-020117
公開番号（公開出願番号）：特開平8-212951
出願日： 1995年02月08日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】電子銃より得られた電子線を操作者の手動操作無く、自動的にレンズ系の中心を通過するように軸調整を行うと共に、設定した値をCRT上に表示する。【構成】フィラメント16を熱し適当な電子線を得るが電子線25は、必ずしもレンズ系の中心を通過するとは限らずガンアライメントコイル制御回路7によって制御されるガン1アライメントコイル19及びガン2アライメントコイル20によって電子線がレンズ系の中心を通過するように軸を自動調整する。【効果】本発明によれば、フィラメントの取付け直後、また大幅な加速電圧値変更時、電子線がレンズ系の中心を外れても自動で調整を行うことで、即座にかつ個人差によるバラつきがなく最適な軸調整を行うこと、さらに、設定した値をCRTに表示することで操作性の向上をもたらす。

請求項（抜粋）：

電子銃と,電子銃(フィラメント)から発生する電子線がレンズ系の中心を通過するように補正するガンアライメントコイルと,電子線を細く絞る収束(コンデンサ)レンズと,前記収束レンズで収束された電子線を試料上で走査させる偏向コイルと,走査に伴い試料から出力される情報信号を検出する検出器と,上記情報信号をCRTに表示する表示回路を備えた走査電子顕微鏡であって、上記ガンアライメントコイルを用いて、電子線がレンズ系の中心を通過して試料まで直下するように軸調整を自動的に行う装置において、最適な軸位置の判断基準を情報信号検出器より得られた信号を用いて処理することを特徴とする走査電子顕微鏡の自動軸調整装置。

IPC (2件)：

H01J 37/04 , H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-079137
特開平4-209453
特開平2-056839

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