ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-044978
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241977
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度、解像度、密着性及びレジストパターンを与え、更に十分な耐ドライエッチング性を示すポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、並びに(B)側鎖に特定の炭化水素環構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度を増大させる基とを有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物が提供される。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、並びに(B)側鎖に下記一般式(I)で表される構造を少なくとも一つ有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】一般式(I)中:R'、R''は、同一又は異なって、直鎖、分岐、環状アルキル基、単環又は多環の炭化水素構造を有する基を表し、R'、R''のうち少なくとも一つが単環又は多環の炭化水素構造を有する基、又はR'とR''が結合して形成される単環又は多環の炭化水素構造を有する基を表す。Xは、単結合又は2価の連結基を表す。Rは、-OR1、-NR2COR3、-NR2SO2R3、又は-NHR2で示される基を表す。ここで、R1、R2は、水素原子、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖状、分岐状、あるいは環状アルキル基、又は酸分解基を表し、R3は、ヘテロ原子を含んでもよい直鎖、分岐、又は環状アルキル基を表す。

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (16件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB52 , 2H025CC20

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